8日，中國首臺代表國際尖端水平的薄膜太陽能電池關鍵生產設備——等離子體增強型化學氣相沉積設備(PECVD)在上海成功下線，這被視為中國在新能源高端裝備領域取得的“零的突破”。“中國造”的PECVD性能領先于國外同類產品，價格大幅低于后者，國內薄膜太陽能電池產業(yè)化進程有望提速。

　　PECVD首次“國產化”：薄膜太陽能電池產業(yè)化有望加速

　　創(chuàng)造這一突破的是注冊在浦東張江高科技園區(qū)的理想能源設備公司。據該公司總經理錢學煜介紹，一片“1.1米×1.4米”的普通平板玻璃完成導電層覆膜后，進入PECVD反應腔，完成化學氣象材料疊層結構的覆膜，厚度增加了兩個微米，即成為轉化率可達10%的薄膜太陽能電池。

　　2009年8月，留美博士錢學煜與20多名曾在國際一流企業(yè)有過豐富經驗的設備、工藝和管理專家成立理想能源公司。一年多里，該公司相繼完成了PECVD首臺機的研發(fā)、中試、下線，并申請了10多項核心技術專利。

　　據介紹，該設備采用了創(chuàng)新的超高頻射頻技術，精密的真空和溫度控制技術，快速的自動傳輸技術以及多腔多片的反應腔系統等，大大提高了產能，其產品性能優(yōu)于國際一流設備，但價格遠低于同等的進口設備。

　　錢學煜說：“從國外進口一臺這樣的設備要兩三億元人民幣，我們自己生產的大概只需一億元左右。一臺設備年產能約有15兆瓦，三臺設備便可組成一條年產能近50兆瓦的生產線。”

　　工業(yè)和信息化部裝備工業(yè)司副司長李東表示，高端薄膜太陽能電池關鍵生產設備的研制成功，為中國新能源產業(yè)下一步的發(fā)展奠定了堅實基礎。